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2 GB T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法.pdf
3 GB T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法.pdf
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5 GB T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法.pdf
6 GB T 1558-2023 硅中代位碳含量的红外吸收测试方法.pdf
7 GB T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法.pdf
8 GB T 4333.7-2019 硅铁 硫含量的测定 红外线吸收法和色层分离硫酸钡重量法.pdf
9 GB T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法.pdf
10 GB T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法.pdf