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1 GB T 24736.4-2009 工艺装备设计管理导则 第4部分:工艺装备验证规则.pdf
2 GBT 24736.2-2009工艺装备设计管理导则 第2部分:工艺装备设计选择规则.pdf
3 GB T 24736.1-2009 工艺装备设计管理导则 第1部分:术语.pdf
4 GB T 24736.3-2009 工艺装备设计管理导则 第3部分:工艺装备设计程序.pdf
5 GBT 24736.4-2009工艺装备设计管理导则 第4部分:工艺装备验证规则.pdf
6 GBT 24736.3-2009工艺装备设计管理导则 第3部分:工艺装备设计程序.pdf
7 GBT 24736.1-2009工艺装备设计管理导则 第1部分:术语.pdf
8 GB T 24737.5-2009 工艺管理导则 第5部分:工艺规程设计.pdf
9 GB T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型.pdf
10 GB T 24737.4-2012 工艺管理导则 第4部分:工艺方案设计.pdf