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1 GB T 12964-2018 硅单晶抛光片.pdf
2 GB T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片.pdf
3 GB T 29504-2013 300mm 硅单晶.pdf
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5 GB T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片.pdf
6 GB T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法.pdf
7 GB T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置.pdf
8 GB T 12962-2015 硅单晶.pdf
9 GB T 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片.pdf
10 GB T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程.pdf