GB T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf_规范标准

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GB T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf

资源分类

规范标准

资源描述

更新时间

2026-01-12

资源类型

百度网盘

资源地址

https://pan.baidu.com/s/1tCOUyPB8efyGJBpkyvzjww?pwd=LUZN

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